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间隙设计是多级罗茨干泵设计的重要参数之一。在多级罗茨干泵运转时， 间隙受转子和泵腔热变形的影响较大。本文通过分析了多级罗茨干泵内部的传热过程， 建立了工作过程的传热模型。通过接触式和非接触式测温方法， 对多点温度进行了测量， 获得了热载荷的边界条件。基于ANSYS 软件， 对泵体及转子轴在稳定运转时的温度场进行了分析， 并采用热??结构耦合分析对其热变形进行了计算， 得到转子轴和泵腔的热变形量， 并绘制了变形云图和曲线。通过上述方法得到的热变形数据， 为确定间隙提供了参考，半导体制造真空系统， 并为进一步计算干泵在运行时的间隙泄漏量提供了计算依据。

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1、首先要了解泵的类型、特点、现在状况。了解使用要求，确定修理目标。在进

行维修之前，准备好检测手段。

2、判断故障，确诊故障。判断准，可省事。确诊要验证。

3、排除故障，先简后繁，先易后难。无须拆卸的不拆。以减少由于缺少工具

和操作不当引起新的损伤，减少位置变化和跑转时间。一般的说，CNC真空系统，拼接式转

子是不可拆卸的，真空系统，否则形位公差就不保，转子就报废了。

4、有毒有害，有腐蚀性的旋片真空泵，锂电真空系统，应请用户***行清洗，告知必要的防护措

施，以保障维修人员的健康。