镀膜机真空系统_真空系统_明胜机电(查看)

ADS602H阿尔卡特真空泵的拆卸步骤

1．放油

2．松开进气咀法兰螺钉，拔出进气咀，松开气镇法兰螺钉，真空系统，拔出气镇阀。

3．拆下油箱。

4．拆除止回阀开口销，拆下止回阀叶轮。

5．拆除支座与泵的连接螺钉，拆下泵部装件，电机拆否视方便而定。

6．松开泵盖螺钉，拆下泵盖，拉出二转子及旋片。拆下低级转子时，麻先拆下开口销。易维科技提供阿尔卡特ADS602H真空泵维修，ALCATEL ADS602LM维修理，ALCATEL ADP122LM维修理，ALCATEL ADP122P，adixen ads602P真空泵维修，adixen ads602H真空泵维修

涡旋无油真空泵的优点及其能给用户解决的问题：

1 涡旋无油真空泵性能***

涡旋真空泵的主要优点是间隙小、泄漏少，具有较高的压缩比，在较宽的压力范围内有稳定的抽速，工作压力范围宽；由于压缩腔容积的变化是连续的 ，镀膜机真空系统，因而驱动扭矩变化小，功率变化小，振动噪声低，CNC真空系统，可靠性高。这是其它类型的干式真空泵所不具备的。

2 涡旋无油真空泵解决了污染与振动等基础、共性问题

由于普通旋片油泵的漏油、噪声、返油污染、高能耗以及振动等问题给用户造成不良影响 ， 如生物制品行业与半导体行业的油蒸汽污染与工艺系统返油阀题。真空镀膜设备的镀膜工艺中，在20~ 40Pa 真空条件下镀膜时，如果应用普通旋片机械真空泵作为前级真空泵将对镀膜工艺设备造成污染，影响成膜量。半导体晶片制造工艺当中使用油泵与使用干泵相比，成品率存在很大的差距，并且排出的油雾蒸汽对环境也有污染。科学仪器行业尤其是在分析试仪器行业，采用油泵对测试结果将造成不良影响。大型同步辐射光束线上采用涡旋无油真空泵作为前级真空泵的作用也相当明显。另外涡旋无油真空泵消除了普通油泵的漏油给用户带来的环境污染与烦恼。

以蒸气流泵为主泵的真空系统，主阀要盖向主泵，前级管道阀也要盖向主泵，预真空管道阀盖向真空室。在机械泵入口管道上，应设一个放气阀门。当机械泵停止工作时，能立即打开此阀，使机械泵入口通入大气，防止机械泵油返流到管路中，锂电真空系统，因此该阀要和机械泵电气联锁。真空室上也要设置放气阀门，给装料和取料时用。该阀设置的位置要考虑到放气时，气体冲力较大，防止因冲力过大而破坏真空室内的薄弱构件。放气阀的大小与真空室的体积有关，要考虑放气时间不能太长，影响工作。